Dab tsi yog wafer notch?
Ib qho ntswj yog ib qho me me txiav ncaj qha hauv qab ntawm silicon wafer, feem ntau yog V lossis U. Notch muaj ob txoj haujlwm. Ib qho yog los khij lub ntsej muag siv lead ua ntawm silicon wafer, xws li<100>, <110>, <111>, thiab lwm yam. Lwm txoj haujlwm yog txhawm rau ua kom lub silicon wafer kom raug thiab ua raws li cov khoom siv hauv semiconductor manufacturing. Feem ntau, cov ntawv muaj nyob hauv 8-inch thiab 12-inch wafers.
Notch zoo li cas?
Qhov luaj li cas ntawm qhov ntsuas yuav tsum nruj me ntsis raws li SEMI cov qauv, raws li qhia hauv daim duab saum toj no:
1. Vw sawv cev rau tag nrho qhov dav ntawm qhov thais, thiab nws qhov loj yog cuam tshuam nrog txoj kab uas hla thiab thickness ntawm silicon wafer.
2. Vh yog qhov tob ntawm qhov notch, uas qhia txog qhov ntsug nrug ntawm ntug ntawm silicon wafer mus rau hauv qab ntawm qhov zawj. Nws feem ntau yog li ntawm 1.0 mus txog 1.25 mm. Vh yog qhov tseem ceeb los xyuas kom meej qhov kev sib raug zoo ntawm qhov ntsuas.
3. AngV, uas yog, Lub kaum sab xis. AngV yog lub kaum sab xis ntawm qhov ntsuas, uas yog lub kaum sab xis ntawm cov npoo ntawm qhov zawj ntawm ob sab. Nws yog feem ntau ntawm 89 degree thiab 95 degree. Lub kaum sab xis no plays lub luag hauj lwm txiav txim siab nyob rau hauv geometry thiab positioning ntawm lub thais.
4. R1 thiab R2 sawv cev rau lub radii ntawm cov ces kaum ntawm ob sab ntawm lub thais. Ob lub radii no txiav txim siab qhov smoothness ntawm qhov zawj cov ces kaum, cuam tshuam qhov kev ntxhov siab ntawm qhov ntsuas, thiab cuam tshuam rau cov khoom siv ntawm silicon wafer.
5. Vr yog lub vojvoog ntawm curvature nyob rau hauv qab ntawm lub notch, qhia qhov loj ntawm lub arc nyob rau hauv qab ntawm qhov zawj. Vr tuaj yeem hloov cov duab nkhaus thiab smoothness ntawm qhov thais. Ib tug loj Vr tuaj yeem ua rau hauv qab ntawm qhov kev sib tw, uas pab txo qis kev ntxhov siab.
6. Kev taw qhia txog kev taw qhia: Cov kev taw qhia ntawm qhov zawj yog sib npaug rau qhov tshwj xeeb siv lead ua orientation ntawm wafer, thiab qhov sib txawv ntawm ± 2 degrees raug tso cai.