Dab tsi yog qhov tiaj tus ntug ntawm silicon wafer?
Pav ca kuj tuaj yeem hu ua qhov chaw ntug.
2, 4, thiab 6-inch silicon wafers tsis yog tag nrho, tab sis muaj ib lub ces kaum uas ploj lawm. Tom qab lub silicon ingot yog rub tawm los ntawm CZ txoj kev, ua ntej nws yuav raug txiav mus rau hauv silicon wafers, thaum lub siv lead ua orientation yog txiav txim siab, ib los yog ntau lub tiaj npoo yuav raug txiav rau ntawm lub ingot nrog ib tug pob zeb diamond pom. Yog li ntawd, silicon wafer muaj 1-2 positioning edges, qhov ntev positioning ntug yog nyob rau hauv qab ntawm lub wafer, thiab lub luv positioning ntug tsis tsau nyob rau hauv txoj hauj lwm, hloov nrog siv lead ua orientation thiab doping hom.
Dab tsi yog qhov kev sib raug zoo ntawm txoj hauj lwm ntug txoj hauj lwm thiab cov siv lead ua orientation?
Feem ntau muaj peb hom kev qhia siv lead ua rau silicon wafers:<111> <110> <100>.
Thaum lub kaum sab xis ntawm lub ntsiab positioning ntug thiab qhov thib ob qhov chaw ntug yog 45 degree, silicon wafer hom yog n-hom<111>; Thaum lub kaum sab xis ntawm lub ntsiab positioning ntug thiab qhov thib ob qhov chaw ntug yog 90 degree, silicon wafer hom yog p-hom<100>; Thaum lub kaum sab xis ntawm lub ntsiab positioning ntug thiab lub thib ob positioning ntug yog 180 degree, silicon wafer hom yog n-hom.<100>. Txij li thaum<110>Crystal orientation tsis yog ib qho tseem ceeb ntawm silicon wafer crystal orientation, tsis muaj tus qauv los sawv cev rau nws. Cov<110>Crystal orientation tuaj yeem sawv cev raws li cov khoom siv silicon wafer tus kheej cov qauv.
Puas yog qhov ntev ntawm lub hauv paus thiab theem nrab qhov chaw nyob ruaj khov?
Yog lawm, vim tias lawv yuav tsum sib phim cov khoom siv hluav taws xob semiconductor, qhov ntev thiab txoj haujlwm ntawm cov thawj, thawj thiab theem nrab qhov chaw ntawm cov npoo yog tsau.
Feem ntau, qhov ntev ntawm thawj qhov chaw ntug ntawm 2-inch silicon wafer yog 15.8 hli, qhov ntev ntawm thawj qhov chaw ntug ntawm 4-inch silicon wafer yog 32.5 hli, thiab qhov ntev ntawm thawj positioning ntug ntawm ib tug 6-inch silicon wafer yog 57.5 mm. Qhov ntev ntawm qhov chaw nruab nrab ntawm qhov chaw tiaj tus ntug ntawm 4-inch silicon wafer yog li 18 hli, thiab qhov ntev ntawm qhov chaw nruab nrab ntawm qhov chaw tiaj tus ntug ntawm 6-inch silicon wafer yog li 22 hli.
